Важной технологической операцией для повышения эффективности солнечных преобразователей на основе кремния является создание на поверхности тонких пластин кремния текстур с размерами шероховатостей, близкими к длинам волн видимого света, при сохранении их высокой прочности. Нами разработанные новые технологии окисления под слоем V2O5. Рассмотрено влияние различных вариантов структурирования поверхности кремниевых пластин на их прочностные свойства методом «кольцо-в-кольцо». В рамках модели конечных элементов получены картины распределений напряжений на поверхности пластин при их прогибе (рис. 1). Рассчитаны зависимости максимальных напряжений и прогибов от нагрузки. Средние значения и среднеквадратичные отклонения прочности для каждой группы пластин кремния приведены в Таб.1. В НТЦ ТПТ при ФТИ им. А.Ф. Иоффе были изготовлены пластины (Рис.2.) и изготовлены солнечные элементы по технологии высоко-эффективных гетероструктур типа HIT (Таб.2).

Публикации

1. В.В. Шпейзман, В.И. Николаев, А.О. Поздняков, и др. Влияние текстурирования поверхности пластин кремния для солнечных фотопреобразователей на их прочностные свойства. ЖТФ, 2020, том 90, вып. 7, с. 1168-1174.
2. В.В. Шпейзман, В.И. Николаев, А.О. Поздняков, и др. Прочность пластин монокристаллического кремния для солнечных элементов. ЖТФ, 2020, том 90, вып. 1, с.79-84.